El uso de una herramienta como el analizador de parámetros Keithley 4200A-SCS, equipado con la unidad de capacitancia-voltaje (CVU) 4215-CVU opcional, permite medir una amplia gama de capacitancias, incluyendo valores muy bajos, incluso <1 pF. La CVU está diseñada con circuitos únicos y se controla mediante el software Clarius+ para ofrecer funciones y herramientas de diagnóstico que garantizan resultados extremadamente precisos. El uso de esta CVU con las técnicas adecuadas permite obtener mediciones de capacitancia muy bajas con niveles de ruido de decenas de attofaradios (1e-18F).
